GSL-1100X-8.5-SR Вакуумная трубная печь с фланцами

Описание:

Вакуумная трубная печь с подвижным фланцем GSL-1100X-8.5-SR размером 8,5 дюймов представляет собой трехзонную слайд-трубную вакуумную трубную печь, в которую можно подавать смешанный газ для низконапорного химического осаждения из паровой фазы. Эта машина может работать в различных атмосферах и при максимальном давлении 6 "На подложке выращивается различного рода тонкие пленки."

Особенности:

1. Двухслойный корпус с циркуляционной воздушной системой охлаждения. Корпус печи изготовлен из высокочистого алюминия поликристаллического волокнистого теплоизоляционного материала, что экологически безопасно и экономит энергию. Температура корпуса <70°C.

2. Конструкция фланца со слайд-рельсами, что облегчает взятие образцов.

3. С двумя К-типами термопар и дополнительной системой калибровки и контроля температуры.

4. Использует ПИД-контроллер, позволяющий задавать 30 этапов нагрева и охлаждения.

5. Правый фланец оснащен кварцевым блоком для блокировки теплового излучения; левый фланец снабжен 4 матовыми кварцевыми блоками для предотвращения теплового излучения.

Технические параметры:

Питание: Однофазное 220В 8кВт

Кварцевая трубка: наружный диаметр Ø216мм, внутренний диаметр Ø208мм, длина 1300мм

Нагревательный элемент: Нержавеющая никель-хром-алюминиевая резистивная проволока

Область нагрева: 600мм

Область постоянной температуры: 200мм

Рабочая температура: до 1100°C, непрерывная работа 400°C - 1000°C

Максимальная скорость охлаждения: 10°C/мин

Точность контроля температуры: ±1°C

Степень вакуума: 10-2торр (механический насос), 10-5торр (молекулярный насос)

Вакуумный интерфейс для детектора термопары: Порты KF - 25: 1

Впускной порт: 5 путей, герметизация с использованием точных нержавеющих стальных игольчатых клапанов

Корпус печи: 1300мм×680мм×920мм

Ширина рельсов: 600мм

Размер: 1780мм × 1780мм × 1650мм;

Вес: 354кг

Стандартные аксессуары

Заглушка кварцевой трубки: 1

Вакуумный заслоночный клапан KF - 25: 1

Нержавеющая стальная гофрированная труба KF - 40: 1